问答题
简述离子注入设备的主要组成部分
气体系统、电机系统、真空系统、控制系统、射线系统、电荷中性化系统、晶圆处理系统
问答题 简述离子注入工艺在元器件中的应用
问答题 离子注入后为什么要进行热退火
问答题 简述离子注入的通道效应和减小通道效应的方法
