问答题
90年代以前，哪些因素影响铜用于IC工艺
器件尺寸；器件密度；化学机械研磨工艺；多重金属连线；铝金属的电导率在金属中排第四，仅次于银、铜、金。铝是这四......
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问答题 半导体工艺中电介质薄膜的应用
问答题 简述源材料扩散穿过边界表面时的两种表面吸附
问答题 简述CVD工艺的的工艺流程
