问答题
简述源材料扩散穿过边界表面时的两种表面吸附
化学吸附：衬底表面的原子与吸附的源材料的分子内的原子形成化学键； 物理吸附：吸附在源材料的表面
问答题 简述CVD工艺的的工艺流程
问答题 热生长氧化物和CVD氧化物的本质区别是什么？
问答题 半导体工艺中常用的三种CVD反应器类型
