问答题
简述CVD工艺的的工艺流程
（1）气体或气相源材料进入反应器（2）源材料扩散穿过边界层并接触衬底（3）源材料吸附在衬底表面......
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问答题 热生长氧化物和CVD氧化物的本质区别是什么？
问答题 半导体工艺中常用的三种CVD反应器类型
名词解释 过刻蚀
