问答题
半导体工艺中电介质薄膜的应用
（1）作为钝化保护层 （2）ILD0的掺杂物阻挡层 （3）紫外线可以穿透的保护层 （4）作为ILD材料
问答题 简述源材料扩散穿过边界表面时的两种表面吸附
问答题 简述CVD工艺的的工艺流程
问答题 热生长氧化物和CVD氧化物的本质区别是什么？
