问答题
计算扫描光刻机的分辨率,假设波长是248nm, NA=0.65, K是0.6。
0.6*248/0.65=228.9 R=K*入/NA
问答题 如果光波长减小分辨率会有什么变化,如果NA增加了呢?
问答题 列出并解释硅片表面反射引起的最主要的两个问题。
问答题 陈述分辨率公式。影响光刻分辨率的三个参数?