问答题 计算扫描光刻机的分辨率，假设波长是248nm，NA=0.65，K是0.6。

问答题 如果光波长减小分辨率会有什么变化，如果NA增加了呢？

问答题 列出并解释硅片表面反射引起的最主要的两个问题。