问答题
什么叫“电迁移现象”,集成电路工艺中如何减小电迁移现象。
铝金属是一种多晶态材料,包含了许多小的单晶态晶粒。当电流通过铝线时,电流会持续不断碰撞晶粒。一些较小的晶粒就开始移动,如......
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问答题 什么叫“结尖刺效应”,集成电路工艺中如何避免铝的结尖刺效应?
问答题 90年代以前,哪些因素影响铜用于IC工艺
问答题 半导体工艺中电介质薄膜的应用