问答题
使用什么材料制作投影掩膜板，投影掩膜板上形成图形的不透明材料是什么？
最主要的是用于亚微米光刻的投影掩膜版衬底材料是熔融石英。不透明材料是一薄层铬。
问答题 当分辨率增加时焦深会发生什么变化？
问答题 写出计算焦深的公试。
问答题 计算扫描光刻机的分辨率，假设波长是248nm，NA=0.65，K是0.6。
