问答题
当分辨率增加时焦深会发生什么变化？
焦深减小
问答题 写出计算焦深的公试。
问答题 计算扫描光刻机的分辨率，假设波长是248nm，NA=0.65，K是0.6。
问答题 如果光波长减小分辨率会有什么变化，如果NA增加了呢？
